L'objectif de ce cours est de former les étudiants à la conception des microsystèmes, notamment des micro-actionneurs unitaires ou répartis. Ce module pluridisciplinaire décrit les bases des techniques de microfabrication usuelle puis les principes physiques de micro-actionnement les plus couramment rencontrés à l'échelle des mycrosystèmes (électrostatique, électromagnétique, piézoélectrique, thermique) ...
- Responsable: Lamarque Frederic